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台积电宣布推出性能增强7%的7nm和5nm制造工艺

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根据外媒报道,台积电已经推出了 7nm 深紫外(N7 / DUV)和 5nm 极紫外(N5 / EUV)制造工艺的性能增强版本。N7P 和 N5P 技术,专为那些需要运行更快、消耗更少电量的客户而设计。新工艺优化了前端(FEOL)和中端(MOL)制程,可在同等功率下将性能提升至前一代工艺的7%、或在同频下降低 10% 的功耗。

台积电宣布推出性能增强7%的7nm和5nm制造工艺

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在日本举办的 2019 VLSI 研讨会上,台积电透露了哪些客户已经可以用上新工艺,但该公司似乎并没有广而告之的想法。

据悉,N7P 采用经过验证的深紫外(DUV)光刻技术。与 N7 相比,它没有增加晶体管的密度。

那些需要高出约 18~20% 晶体管密度的 TSMC 客户,预计需要使用台积电的 N7+ 和 N6 工艺 —— 后者使用极紫外(EUV)光刻技术进行多层处理。

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